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压阻式压力传感器的压力测量实验 实验目的：了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理和方法。 基本原理：扩散硅压阻式压力传感器在单晶硅的基片上扩散出P型或N型电阻条，接成电桥。在压力作用下，根据半导体的压阻效应，基片产生应力，电阻条的电阻率产生很大变化，引起电阻的变化，我们把这一变化引入测量电路，则其输出电压的变化反映了所受到的压力变化。

观察传感器结构，这是一个平绕扁线圈。将电涡流传感器输出线接入实验模板标有L的两端插孔中，作为震荡器的一个元件。在测微头端部装上铁质金属圆片，作为电涡流传感器的被测体。用连接导线从主控台接入±15V直流电源接到模板上标有 15V的插孔中。 使测微头与传感器线圈端部接触，开启主控箱电源开关，记下数显表读数，然后每隔0.2mm读一个数，直到输出电压几乎不变为止。 画出V—X曲线，根据曲线找出线性区域及进行正、负位移测量时的工作点，试计算量程为1mm、3mm及5mm时的灵敏度和线性度（可以用端基法或拟合直线法）。

陶瓷是一种公认的高弹性、抗腐蚀、抗磨损、抗冲击和振动的材料。陶瓷的热稳定特性及它的厚膜电阻可以使它的工作温度范围高达-40～135℃，而且具有测量的、高稳定性。电气绝缘程度gt;2kV，输出信号强，长期稳定性好。高特性，***格的陶瓷传感器将是压力传感器的发展方向，在欧美***有替代其它类型传感器的趋势，在中国也越来越多的用户使用陶瓷传感器替代扩散硅压力传感器。